稀土氧化物高T_c超导薄膜的AES分析

AES ANALYSIS OF HIGH-Tc SUPERCONDUCTING RARE-EARTH-OXIDE THIN FILMS

一、前言世界很多国家都在研究制备超导材料,而且发展很快。国内有十多个单位用电子束蒸发、磁控溅射等方法获得零电阻转变温度TR=0】85K的超导薄膜,也有用分子束外延、化学气相沉积法制备的。一般超导临界转变温度TC【85K,我国制Bi-Sr-Ca-Cu-O超导薄膜的TR=0】111K,TC=125K。