一种新型两级组合偏转离子透镜的特性分析

THE ANALYSIS ON A NEW TYPE OF COMBINED BIPOLE DEFLECTION ION LENS

本文针对射频辉光放电离子源存在较强的光辐射与中性粒子流干扰问题,提出一种新型的两极组合偏转离子透镜。这种透镜由半圆筒形偏转电极与偏心孔膜片组成。其两级偏心结构可有效抑制光辐射干扰,而半圆筒电极对离子束具有会聚作用,因而可获得较高的离子流通率。本文从理论上和实验上研究了该透镜的特点。