Mark-Ⅲ数字波面干涉仪及其应用

本文介绍Mark-Ⅲ数字波面干涉仪的基本原理、性能以及对实时干涉图的两种处理方法(位相法和ZAPP法)。列举了四组实验数据,给出该仪器在现有环境条件下的实际重复性指标:1.1λ/100p-v(λ=0.6328μm,p-v峰谷值)。并就环境条件的影响及控制、有效提高测量精度发表了一些看法。