特种气体不稀释除害处理系统

Non-dillution Treatment Systems for Special Gases

本装置是由日本富士环境设备公司研制的处理单硅烷、三氢化胂、磷化氢等可自燃和对人体有毒的气体装置。该装置有多种泄漏监测、报警等处理手段,安全性高。另外排气通过特殊设计的涤气器时可使危险物质得到全部处理。该装置和过去的大气稀释法相比,排气量为原来的五十分之一。