TiN膜的电子显微分析

The Transmission Electron Microscopy Analysis of TiN Film

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摘要本文是用JEM-2000EX型电镜,对射频等离子体沉积的TiN薄膜进行具体分析,从而得到TiN的形貌及晶体结构。 The TiN film by RF Plasma Chemical Vapour Deposition was anal-yzed with JEM-2000EX electron microscope.The surface morphology andcrystallographic structure were shown.

作者谢雁成世逵李世直

机构地区青岛化工学院机械系青岛化工学院电镜室

出处《青岛科技大学学报（自然科学版）》 CAS 1989年第3期79-81,共3页 Journal of Qingdao University of Science and Technology:Natural Science Edition

关键词射频等离子体电子显微镜 RF plasma TEM analysis of TiN

分类号 TQ-55 [化学工程]

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青岛科技大学学报（自然科学版）

1989年第3期

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