氧化铁薄膜的PCVP过程及其气敏性能初探

由于α-Fe2O3具有较高的化学稳定性,一般认为它无气敏效应,后来才发现微细化、低结晶化及薄膜化的α-Fe2O3具有显著的气敏性,因此其气敏效应的发现晚于γ-Fe2O3。现已有了实用化的α-Fe2O3气敏元件,因而研究微细化的α-Fe0O3薄膜气敏村料成为必要,这对于材料的稳定生长和质量控制以及薄膜生长的微机控制都具有现实的意义,而研究氧化铁气敏薄膜的成膜工艺及动力学目前还未见详细报道。 实验是在一个真空反应管内进行的,衬底用电炉加热,温度由水银计显示,用10.5MHz高频电场等离子体激发源,以二茂铁为源材,以氧气为氧化剂兼作载气。