在低压卤素输运系统中ZnS:Mn电致发光薄膜的化学气相沉积

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摘要引言夏普公司首次用电子束(EB)蒸发技术研制了ZnS:Mn薄膜电致发光(TFEL)显示器。从那时起,为了进一步改进薄膜特性对各种沉积技术进行了广泛而深入的研究。为了获得高质量和高产率的EL器件,在制备技术方面必须考虑到两个重要因素;一是要有结晶质量高的发光层,二是要具备大批量生产的设备条件。

作者邸建华

出处《液晶与显示》 CAS CSCD 1989年第4期8-12,共5页 Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays

关键词化学气相沉积 ZNS:MN 电致发光薄膜薄膜特性发光层结晶质量沉积技术技术研制高产率激活中心

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液晶与显示

1989年第4期

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