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光致弯曲材料微泵泵膜形变仿真计算 被引量:1

Simulation and Computation of Pumping Diaphragm Deformation of Photo-driven Bending Micro-pump
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摘要 本文采用薄板小变形理论分析计算由一种受光照后产生弯曲变形的新型聚合物制造的微泵泵膜的形变,在理论推导出加入光致弯曲后的薄板弯曲问题的基本方程后,对其进行四边简支条件下变形计算,最后进一步采用MATLAB仿真其变形。 A new polymer which would deform flexibily after exposured in fight is employed in design of photo-driven bending micro-pump. In this article, the deformation of the pumping diaphragm made by this new polymer is analyzed and is simulated with MATLAB.
出处 《材料开发与应用》 CAS 2009年第2期48-50,59,共4页 Development and Application of Materials
关键词 MEMS 光致弯曲 MATLAB仿真 MEMS MATLAB Simulation
  • 相关文献

参考文献5

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引证文献1

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