刻蚀终点监测仪

SD1024FH刻蚀终点监测仪具有优化的信噪表现，包括增强的光学吞吐量、专有的数据采集方案、新颖的信号处理和优异的系统噪音控制。应用范围涵盖了曝光区域很小的接触孔刻蚀、离子柬刻蚀和光掩膜刻蚀的终点控制。200-800nm光谱范围光学系统采用了1024元、科研级热电冷却CCD传感器，为富有挑战性的终点检测应用而设计。