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陶瓷内球面薄膜均匀镀复技术及专用工装
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摘要
采用MEVVA金属离子注入技术和离子束辅助沉积镀膜技术，在高纯氧化铝陶瓷内球面上，镀复一层厚度均匀的、与陶瓷结合良好的金属复合膜，作为某装置内电极。
出处
《应用科技》
CAS
2009年第4期76-76,共1页
Applied Science and Technology
关键词
氧化铝陶瓷
镀膜技术
内球面
专用工装
镀复
均匀
离子束辅助沉积
金属复合膜
分类号
TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]
TQ171.724 [化学工程—玻璃工业]
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