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基于电子散斑干涉技术的圆度误差测量方法 被引量:3

Method of measuring roundness error based on ESPI
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摘要 分析现有圆度误差的几种测量方法的优、缺点后,提出一种基于电子散班干涉技术的圆度误差测量与评定的新方法,测量结果表明,新方法简单易行、精确度高,有一定的应用前景。 The good and bad of the methods of measuring roundness error are analysed in this paper.The method of measuring roundness error based on ESPI is proposed. The measuring results show that the measure system can be used easily and have high accurate measuring of roundness error, so this way has high practicality.
机构地区 燕山大学理学院
出处 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期51-52,共2页 Laser Journal
关键词 圆度误差 测量 电子散斑干涉技术 roundness error measuring ESPI
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参考文献4

二级参考文献5

共引文献18

同被引文献25

引证文献3

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