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采用冰结合剂抛光盘的温度场仿真

Simulation of the Temperature Distribution of the Iced Fixed-abrasive Polishing Pad
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摘要 利用有限元分析软件ANSYS建立了冰结合剂抛光盘抛光过程的二维有限元模型,应用生死单元技术模拟了冰盘的融化过程,通过实验验证了模型的可靠性。通过仿真,得出冰盘温度和融化速率随各工艺参数的变化趋势,为加工中最优参数的选取提供了依据。 The model of the Iced Fixed-Abrasive polishing pad is studied by means of ANSYS software. Using the life and death cell technology,the ice-melting process is simulated, The obtained simulating results show a good agreement with the experiment result. The results indicate that the established model is right and reliable. The temperature distribution and the melting rate is studied in case of different technical parameters,which can be used to give a references to choosing the best parameters.
出处 《机械制造与自动化》 2009年第2期73-77,共5页 Machine Building & Automation
基金 国家自然科学基金资助项目(编号:50675104)
关键词 冰盘 ANSYS 温度场 融化速率 iced fixed-abrasive polishing pad ANSYS temperature distribution melting rate
  • 相关文献

参考文献8

  • 1韩荣久,孙恒德,徐德全,张云,王立江.单晶硅片的低温抛光技术[J].光学精密工程,1998,6(5):104-109. 被引量:14
  • 2张飞虎,谢大纲,赵清亮,韩荣久,裴舒.微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究[J].机械工程学报,2002,38(1):87-90. 被引量:11
  • 3Kim H .I, Kim tt Y,Jeong H D,et al. Friction and thermal phe-nomena in chemical mechanical polishing[ J ]. ELSEVIER Journal of Materials Porcessing Technology ,2002:334-338.
  • 4博弈创造室.ANSYS90经典产品高级分析技术与实例解析[M].北京:中国水电出版社,2005:265-270.
  • 5赵广和.中国水利百科全书[M]北京:中国水利水电出版社,1990:111-112.
  • 6葛世荣.摩擦学导论[M].北京:机械工程出版社.2005:56-62.
  • 7Sun Y L,Zuo D W,Zhu Y W,et al. Effect of ice counterparts on the friction hehavior of single crystal silicon wafer[ J ]. Advanced Materials Research (已录用,EI刊源).
  • 8钱滨江.简明传热学手册[M].北京:中国农业出版社,1986:263-265.

二级参考文献4

  • 1曹志丰.特种光学玻璃[M].北京:兵器工业出版社,1993..
  • 2曹天宁,光学零件制造工艺学,1987年
  • 3李晋年,博士学位论文,1987年
  • 4舒泉声,低温技术与应用,1983年

共引文献21

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