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低气压直流辉光等离子体实验装置 被引量:1

LOW PRESSURE DC GLOW PLASMA EXPERIMENT APPARATUS
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摘要 介绍了低气压下直流辉光放电等离子体的实验装置,该装置具有结构合理、调节方便、测量参数多等特点,可在其上开展等离子体参数测量、等离子体激发机理研究等多项教学实验。 A low pressure DC glow discharge plasma apparatus is introduced. This apparatus has many features such as reasonable structure, convenient operation, various measurable parameters and so on. A great deal of teaching experiments can be developed on it; for example, the measure of plasma parameters, study of plasma exciting mechanism etc.
出处 《大学物理实验》 2009年第1期75-78,共4页 Physical Experiment of College
基金 国家级教学研究项目 项目编号:FIB070335-A6-07
关键词 直流辉光等离子体 电子温度与浓度 帕邢定律 DC glow plasma electronic temperature and concentration Law of Paschen
  • 相关文献

参考文献2

  • 1J.R.罗思.工业等离子体工程.科学出版社,1998.
  • 2Zheng Xianfeng, Ma Zhibin, Zhang Lei et al. Investigation on the etching of thick diamond film and etching as a pretreatment for mechanical polishing[J]. Diamond and Related Materials,2007

同被引文献6

引证文献1

二级引证文献1

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