期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
光学邻近效应的计算机模拟研究
COMPUTER SIMULATION RESEARCH OF OPTICAL PROXIMITY EFFECT
下载PDF
职称材料
导出
摘要
本文以部分相干光的衍射理论为基础,分析了掩模结构参量对衍射场分布的影响,讨论了光学邻近效应产生的物理机理,确定了其有效作用范围,为研究光学邻近效应校正打下了基础。
作者
黄晓阳
杜惊雷
郭永康
孙国良
机构地区
四川大学物理系
中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《微细加工技术》
1998年第1期11-18,共8页
Microfabrication Technology
基金
国家自然科学基金
光电所微细加工光学技术国家重点实验室基金
关键词
部分相干
光学邻近效应
计算机模拟
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
杜惊雷,黄晓阳,黄奇忠,郭永康.
基于光场分布的光学邻近效应校正[J]
.微细加工技术,1998(1):7-10.
被引量:2
2
杜惊雷,黄奇忠,黄晓阳,郭永康,崔铮.
光学邻近效应校正的新方法[J]
.应用激光,1997,17(6):244-246.
被引量:5
3
蔡祥宝.
平面波入射时二元光学型光栅的衍射场分布[J]
.南京邮电学院学报,1999,19(2):54-56.
被引量:1
4
刘永欣,吕百达.
受光阑限制光束衍射场的高阶修正[J]
.激光技术,2006,30(4):390-391.
5
谢建平,方晖,王守涛,吴为民,王刚,吴云霞,高伟,张国平,明海.
近场衍射图样的抽样定理处理方法[J]
.光学学报,1999,19(6):785-790.
被引量:7
6
赵兰明.
空间光调制器衍射场的分析[J]
.哈尔滨师范大学自然科学学报,2011,27(4):51-54.
7
杨绍甫,白建平,张耀举.
截断参数对透镜衍射场分布的影响[J]
.河南师范大学学报(自然科学版),2009,37(3):71-72.
8
黄佐华,赵端程.
一种改进的简单一步彩虹全息法[J]
.华南师范大学学报(自然科学版),1994,26(2):93-98.
被引量:1
9
周铁中,邓罗根.
强非线性吸收下高斯光束 Z-扫描衍射理论模型[J]
.强激光与粒子束,2004,16(6):721-725.
被引量:8
10
陈德,黄山青,傅汉忠,封余军.
二维全息光栅的夫琅和费衍射[J]
.激光杂志,2010,31(1):39-40.
被引量:3
微细加工技术
1998年 第1期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部