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DSOI结构开口尺寸对SOICMOS器件性能的影响

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摘要 尽管可以通过对主要结构和工艺参数的优化找到缓解自加热效应的途径,但这种改变硅膜厚度和埋氧层厚度的办法在工艺上是较难实现的,因而解决SOICMOS器件中浮体效应和自加热效应要寻找其它新的方法,在沟道下方的隐埋氧化层中开一个窗口形成DSOI结构,空穴可以通过沟道区与衬底的电耦合传递出去,同时器件内部产生的热量也可以很容易通过沟道下方的硅通道泄散出去。本文重点研究埋氧开口尺寸大小对器件性能的影响,并得出了相关的结论。
作者 张新 刘梦新
出处 《集成电路通讯》 2008年第4期8-13,共6页
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二级参考文献21

  • 1Chen W S,Tian L L,Li Z J.A noveldrain/source oninsulator (DSOI) structure to fully suppress the floating-body andself-heating effects.IEEE Int Solid-State Integrated Circuit Technique Conf Proc,1998:575
  • 2Colinge J P.Silicon-on-insulator technology:materials to VLSI.Boston:KluwerAcademic Publishers,1991:1
  • 3Su L T,Chung J E,Antoniadis D A,et al.Measurement and modeling of self-heating inSOI nMOSFET's.IEEE Trans Electron Devices,1994,41(1):69
  • 4Liu Hongxia,Hao Yue,Zhu Jiangang.Channel hot-carrier-induced breakdown of PDSOINMOSFET's.Chinese Journal of Semiconductors,2002,23:138
  • 5Van Bentum R,Vogt H.Structural characterization of local SIMOX substrates.IEEE IntSOI Conf Proc,1998:49
  • 6Ansys:finite-element simulator,Ver.5.6,Ansys Inc,1994
  • 7Jenkins K A,Sun J Y.Measurement of I-V curves of silicon-on-insulator (SOI)MOSFET's without self-heating.IEEE Electron Device Lett,1995,16(4):145
  • 8Berger M,Chai Zhiqin.Estimation of heat transfer in SOI-MOSFETs.IEEE Trans ElectronDevices,1991,38(4):871
  • 9Tenbroek B M,Bunyan R J T,Whiting G,et al.Measurement of buried oxide thermalconductivity for accurate electrothermal simulation of SOI devices.IEEE Trans ElectronDevices,1999,46(1):251
  • 10He P,Liu L T,Tian L L,etal.Measurement of thermal conductivity of buried oxide of silicon on insulator wafersfabricated by separation by implantation of oxygen technology.Appl Phys Lett,2002,81:1896

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