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溅射制备NiTi薄膜的马氏体相变 被引量:3

Martensite Transitions of NiTi Thin Films by Magnetron Sputtering
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摘要 研究溅射制备的NiTi薄膜的马氏体相变行为.电阻随温度的变化曲线以及变温X射线衍射实验表明,当温度由400℃连续下降到-180℃时,NiTi薄膜发生了B2→R→B19'以及B2→B19'相变. The martensite transitions of NiTi thin films by magnetron sputtering were studied. The temperature dependence of electrical resistance and the X-ray diffraction patterns indicated the transitions from B2 austenite to R phase, then to martensite and from B2 austenite to martensite in NiTi thin films when temperature decreased from 400℃to-180℃.
出处 《吉林大学自然科学学报》 CSCD 1998年第1期37-39,共3页 Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Jilinensis
基金 国家自然科学基金
关键词 马氏体相变 磁控溅射 NITI合金 薄膜 martensite transition, NiTi thin film, magnetron sputtering
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