用脉冲准分子激光在P-Si(100)衬底上沉积高取向KTN薄膜被引量：6

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摘要利用Sol Gel法制备了优质KTN陶瓷靶材 ,用PLD技术成功地在P Si(10 0 )衬底上沉积出了较纯净钙钛矿相 (>98% )的KTN薄膜 ,并对所制备的薄膜进行了XRD 。

作者马卫东王世敏张端明刘素铃王新兵徐启杨李再光田虎永

机构地区华中理工大学物理系华中理工大学激光技术国家重点实验室

出处《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期259-262,共4页 Chinese Science Bulletin

基金激光技术国家重点实验室基金资助项目

关键词薄膜焦绿石相钙钛矿相脉冲激光沉积 KTN

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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