Ag/Si纳米颗粒多层膜的合成

导出

摘要使用多靶离子束溅射沉积方法制备出Ag/Si多层膜 .利用原位低角X射线衍射技术和截面高分辨透射电子显微镜观察 5 0～ 30 0℃退火过程中Ag/Si多层膜各亚层间发生的扩散现象 ,并由此分析研究Ag/Si多层膜微观结构变化 ,即Ag/Si纳米颗粒多层膜的形成过程 .计算出Si在Ag亚层中的扩散激活能和频率因子分别为 0 .2 4eV和 2 .0 2× 1 0 -2 0 m2 /s,纳米Ag颗粒的尺寸约为 5nm .

作者赵建华张明曹立民张湘义刘日平戴道阳陈红许应凡王文魁

机构地区中国科学院物理研究所燕山大学材料工程学院燕山大学材料工程学院

出处《中国科学（A辑）》 CSCD 1998年第5期438-442,共5页 Science in China(Series A)

基金国家"八六三"基金资助项目

关键词纳米薄膜扩散 XRD 银/硅多层膜

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

引文网络
相关文献

参考文献1

1张明,于文,刘日平,贺端威,张君,王文魁.Ag/Bi多层膜的结构研究[J].科学通报,1997,42(10):1059-1062. 被引量：2

二级参考文献2

1Bai H Y，J Mater Res，1992年，7卷，6期，1423页
2Meng W J，Phys Rev B，1990年，42卷，4881页

共引文献1

1郭中正,孙勇,段林昆,李玉阁,郭诗玫.磁控溅射Al/Pb纳米多层膜调制结构研究[J].昆明理工大学学报（理工版）,2010,35(1):38-41.

1殷士龙,王兵,高琛,吴自勤,王晓平,赵特秀.Pd_2Si的生成对Pd/Si多层膜衍射性能的影响[J].物理学报,1993,42(4):610-616. 被引量：1
2王凤平,王佩璇,崔明启,方正知.Ar气压强对溅射沉积的W／Si多层膜界面粗糙度的影响[J].功能材料与器件学报,1995,1(1X):53-57.
3王风丽,王占山,张众,吴文娟,王洪昌,张淑敏,秦树基,陈玲燕.W/B_4C、W/C、W/Si多层膜的研究[J].光学精密工程,2005,13(1):28-33. 被引量：9
4伍历文,王兵,刘文汉,周凌云,殷士龙,田扬超,胡一贯.同步辐射辐照下Mo/Si,Pd/Si多层膜的稳定性[J].科学通报,1995,40(8):761-764. 被引量：1
5冀斌,张一志,朱京涛,吴文娟.共溅射制备W_xSi_(1-x)/Si多层膜应力的实验研究[J].光学仪器,2015,37(4):367-370.
6张一志,冀斌,叶天明,陈进文,朱京涛,吴文娟.不同溅射气压制备W/Si多层膜的实时应力研究[J].光学仪器,2015,37(5):466-470.
7刘毅楠,马月英,曹健林.高反射率13nmMo/Si多层膜[J].光学仪器,2001,23(5):149-153.
8陈熹,王荫君,梁冰青,王晶,李健.非晶TbCo/Si多层膜的磁性和磁光特性[J].物理学报,1999,48(S1):224-229.
9黄秋实,李浩川,朱京涛,王晓强,蒋励,王占山,唐永建.磁控溅射制备的W,WSi_2,Si单层膜和W/Si,WSi_2/Si多层膜应力[J].强激光与粒子束,2011,23(6):1659-1662. 被引量：6
10FengShimeng,CuiMingqi,等.Reflective performance of W／Si multilayer at the photon energy of 700eV and 1200eV[J].Beijing Synchrotron Radiation Facility,2001(1):152-157.

中国科学（A辑）

1998年第5期

浏览历史

内容加载中请稍等...

Ag/Si纳米颗粒多层膜的合成

参考文献1

二级参考文献2

共引文献1

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史