刍循环模块机组和集成空调系统在实践中的应用

0引言 洁净室通常应用于对产品用途、可靠性、质量和安全性均有严格要求的生产中。洁净室内许多工艺过程的水平非常接近先进技术的前沿。在洁净室内主要的是复杂而昂贵的工艺设备，这些设备在任何情况下都应正确地运转，并达到最高的可靠性要求。从这种意义来说，洁净室就成为质量链中具有决定意义的一环。对其使用者应有充分的信心，确信洁净室能完美地被使用。