半导体器件失效分析的重要性及关键问题研究

本文对半导体器件失效分析的重要性及关键问题进行了阐述,认为失效分析对提高产品的可靠性具有非常重要的意义。失效分析的关键问题包括失效信息及失效数据的收集、失效预警及启动分析机制、信息反馈机制、专业技术及人员、善于总结,实现点到面的技术提升等方面。