氮化硅X射线定量相分析法

1.前言在氮化硅X射线定量相分析测试中有α—Si_3N_4择优取向,难于获得高纯度的单相α—Si_3N_4,β—Si_3N_4作标样的特点。1977年Charles P·Gazzar和Donaldr·Messier提出了“归一化”处理方法,以减少择优取向的影响。