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利用3D扫描仪开发超精密螺杆转子
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摘要
EBARA Densan公司是EBARA Corporation旗下的全资子公司,经营范围包括风力和水力机械系统、水处理系统、环境保护系统和半导体制造设备。公司的机电一体化部门利用其长期积累的旋转机械和电气设备控制技术,开发出各种产品,如小巧而高效的紧凑化流体机械和永磁电动机。
作者
河内美宙
满修
出处
《现代制造》
2009年第23期58-60,共3页
Maschinen Markt
关键词
螺杆转子
开发
超精密
扫描仪
半导体制造设备
3D
环境保护系统
水处理系统
分类号
TH450.3 [机械工程—机械制造及自动化]
TH740.6 [机械工程—光学工程]
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现代制造
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