摘要
本文概述了MEMS技术及它与过程自动化发展的关系。
The paper introuduces MEMS technologies and the development of process industrial automation.
出处
《自动化博览》
2009年第4期22-24,共3页
Automation Panorama1
关键词
智能微系统
LIGA加工技术
压力变送器
现场总线
无线变送器
Intelligent Micro System
LIGA Manufacture
Technology Pressure
Transmitter Fieldbus
Wireless Transmitter
