XRD技术简介与其在薄膜研究中的应用

本文重点介绍了XRD技术的基本原理以及目前的应用情况，尤其在金属和薄膜领域。简明介绍了薄膜技术的知识和一些最新的技术，以及应用XRD技术对薄膜研究的一些促进作用。简单介绍应用XRD技术对薄膜相关参量和数据的测试方法以及在过程中应该注意的问题。