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简易匀胶机系统研制与应用 被引量:3

The research and application of simple spin-coater system
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摘要 主要就简易匀胶机系统的结构设计、控制电路设计、技术特点、工作原理、性能、应用场合、影响质量的关键因素等进行了阐述。 This paper mainly absorbed on the simple structure of gel system design,circuit control design,technical features,working principle, performance, applications, the key factors affecting the quality.
作者 周志近
出处 《现代显示》 2009年第6期41-44,共4页 Advanced Display
关键词 匀胶机 涂胶 光刻 spin coater coating photoresist
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