作为真空控制传感器的智能超高真空计的研制
摘要
介绍该室研制的作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据该室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求而研制的。其真空测量范围为５×１０－１－５×１０－８Ｐａ。采用单片机Ｉｎｔｅｌ８０３１，使设备结构简单、使用方便、运行可靠、功能可扩。
出处
《电子技术应用》
北大核心
1998年第7期23-26,共4页
Application of Electronic Technique
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