利用微悬梁器技术的光学和红外探测

利用微悬梁器技术**证明对微机械光学和红外的探测是可行的。微悬梁器技术提供了一个简单的方法来研制单元和多元传感器,用于可见光和红外辐射的探测。这类传感器与量子探测器或热探测器比较起来,体积更小,灵敏度更高,成本更低。表面镀着一层热吸收层的微悬梁器会弯曲,这是由双金属效应产生的不均匀应力所引起的。微悬梁器的弯曲程度取决于吸热总量,并可利用光学方法或电学方法探测出来,例如可利用在压阻悬梁方面的电阻变化进行探测。微悬梁传感器有两个独特的热响应时间常数:快的一个(τ_1(热)<1ms)和慢的一个(τ_2(热)～10ms)。测出这种器件的噪声等效温差NEDT=90 mK。当未镀吸收层的微悬梁器受到一束低功率二极管激光(波长λ=786 nm)的辐照时,发现噪声等效功率NEP=3.5 nW/Hz^(1/2),相当于调制频率为20 Hz时的比探测率 D~*= 3.6×10~7cm·Hz^(1/2)/W。