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中国科学院微电子所合作项目荣获北京市科学技术奖

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摘要由中科院微电子所微电子设备技术研究室作为合作单位之一，承担完成的“100纳米高密度等离子刻蚀机研发与产业化”项目获得了2008年北京市科技进步一等奖。

出处《中国集成电路》 2009年第6期2-2,共1页 China lntegrated Circuit

关键词合作项目微电子北京市科学技术奖中国科学院科技进步一等奖等离子刻蚀机设备技术

分类号 F326.3 [经济管理—产业经济] G322 [文化科学]

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中国集成电路

2009年第6期

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