微光学机电系统的发展和应用被引量：4

The Development and Applications of Micro Opto Electro Mechanical Systems

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摘要论述了微光学机电系统（ＭＯＥＭＳ）的研究状况和已研制的系统的结构工艺与工作原理，对其发展和应用前景进行讨论。 This paper summarizes the current research state of MOEMS.The sorts,structures,operational principles and fabrication processes are described.The future application and development are discussed and analysed.

作者傅丹鹰殷纯永乌崇德

机构地区清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术及仪器国家重点实验室北京空间机电研究所

出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第4期7-14,共8页 Optics and Precision Engineering

关键词微光学机电系统微机械 MEMS MOEMS 结构工艺 Micro opto electro mechanical systems(MOEMS),Micromechanics

分类号 TH－39 [机械工程]

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光学精密工程

1998年第4期

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