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新型纳米压印光刻技术的研究和应用 被引量:2

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摘要 纳米压印(nanoimprint)这个词汇从1995年发明到现在,目前还并未被大多数学者和人们所认识。让我们来解读一下纳米压印。纳米,已经越来越走进我们的生活,随着纳米技术的大量应用,纳米领域向我们敞开了一个神奇、美妙的世界。拜电视宣传所赐,越来越多人知道我们使用的电脑里Intel双核CPU采用的芯片是“45纳米技术”.这个技术就是目前大规模集成电路生产技术。
作者 屈新萍
出处 《世界科学》 2009年第6期39-41,共3页 World Science
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