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石英膜盒制造工艺研究
The Processing Method of Quartz Capsule
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摘要
本文介绍了石英膜盒的工作原理,结构和制造工艺。
In this paper the principles, Structure and processing methods of quartz capsule are introduced.
作者
谭定忠
张立勋
王立权
蔡威
机构地区
哈尔滨工程大学
哈尔滨铁路成人中专
出处
《传感器世界》
1998年第8期3-35,共33页
Sensor World
关键词
仪器
石英膜盒
刻蚀
封接
制造工艺
膜盒
Quartz Capsule,Etch,Scolding and Sealing
分类号
TH703.2 [机械工程—精密仪器及机械]
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传感器世界
1998年 第8期
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