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石英膜盒制造工艺研究

The Processing Method of Quartz Capsule
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摘要 本文介绍了石英膜盒的工作原理,结构和制造工艺。 In this paper the principles, Structure and processing methods of quartz capsule are introduced.
出处 《传感器世界》 1998年第8期3-35,共33页 Sensor World
关键词 仪器 石英膜盒 刻蚀 封接 制造工艺 膜盒 Quartz Capsule,Etch,Scolding and Sealing
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