一种全场三维共焦检测的新方法

提出了一种利用微光学阵列合成器件实现全场三维面形并行检测、记录的共焦方法。此方法的关键是，在共焦系统中引入了一微光学阵列合成器件来产生一点光源列阵，实现了对同一剖面同时并行检测，并首次采用了ＣＣＤ面阵像元取代小孔光阑直接截取三维信息光强。本文讨论了该方法的三维信息检测原理、响应关系，给出了初步的实验结果和三维重构图。