一种半导体用石英玻璃棒的生产方法

本文介绍了一种半导体用石英玻璃棒的制备工艺，即用高频等离子制坨一中频炉无接触拉棒二步法工艺，该工艺制备出的石英玻璃棒具有纯度高、羟基含量低、尺寸精度高、外观质量及良好的耐温性能等特点，可满足半导体制造工业高温扩散和氧化用大型石英承载器的质量要求，产品性能达到国际同类产品水平。