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浅谈扩散炉温度测量方法
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摘要
介绍了扩散炉的温度测量方法,并对扩散炉进行现场测量,通过测量结果对扩散炉温度控制系统进行修正,从而保证了扩散炉性能的稳定可靠。
作者
杨桦
杨锦杰
机构地区
中国电子科技集团公司第二十四研究所
国防科技工业
出处
《计测技术》
2009年第3期50-51,共2页
Metrology & Measurement Technology
关键词
扩散炉
温度
测量
分类号
TB942 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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计测技术
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