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浅谈扩散炉温度测量方法

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摘要 介绍了扩散炉的温度测量方法,并对扩散炉进行现场测量,通过测量结果对扩散炉温度控制系统进行修正,从而保证了扩散炉性能的稳定可靠。
作者 杨桦 杨锦杰
出处 《计测技术》 2009年第3期50-51,共2页 Metrology & Measurement Technology
关键词 扩散炉 温度 测量
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