四氯化硅利用:氯氢化技术最理想被引量：8

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作者陈维平姚又省

机构地区中国华陆工程有限公司医药设计所

出处《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期I0001-I0002,共2页 Chemical Engineering(China)

关键词四氯化硅氢化技术理想产业发展多晶硅有效利用密闭循环国内外

同被引文献111

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化学工程

2009年第6期

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