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微米/纳米技术浅谈(四)——MIMU是惯性技术的一朵奇葩
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摘要
过去曾介绍过微米/纳米技术的基本知识,特别是MEMS(微机电系统)的应用与有关微加工方法。今天,随着惯性系统及仪表的体积不断向小型化发展,MIMU已越来越成为一种有着广阔应用前景的MEMS。 MIMU是微型惯性测量组合英文名Mi-cro Inertial Measurement Unit字首的缩写。
作者
高寿祖
出处
《惯性世界》
1998年第2期13-17,共5页
For Ship.Armour.Aircraft.Spacecraft & Weapornry
关键词
纳米技术
MIMU
微米/纳米技术
惯性技术
分类号
O48 [理学—固体物理]
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