制造低温聚硅酮薄膜晶体管用快速热处理装置

低温聚硅酮薄膜晶体管是用于驱动液晶显示屏的一种半导体器件。制造低温聚硅酮薄膜晶体管中需要能够对大尺寸玻璃基板（线路板）进行高温、快速、温度分布均匀处理的热处理设备。日本石川岛播磨重工株式会社成功地开发了这种热处理设备，并推向工业炉市场。较详细地介绍了该热处理装置的设备构成、特点、温度控制及其对玻璃基板的影响。