准分子激光刻蚀及其在图形雕刻中的应用

准分子激光刻蚀是近年来发展起来的一种微细加工新技术。本文介绍了准分子激光的特性、加工特点、消融机理以及在图形雕刻中的应用，给出了消融所需的脉冲数与激光能量密度的关系曲线，展示了试验所得的精密雕刻图案。