扩展的PECVD制造大面积太阳能电池

Shuran Sheng. Yong Kee Chae, Liwei Li, Jeff Su and Xiesen Yang, Applied Materials

基于非晶硅（a-Si：H）和微晶硅（μc—Si：H）的薄膜太阳能电池模块日渐成为低成本、大尺度光伏（PV）应用的最佳选择。这类模块的吉瓦级产品需要大面积的均匀吸收层，同时也需要很高的吸收层的沉积速度。应用材料的SunFab薄膜工艺线可以在玻璃衬底上制造面积高达5．7m^2的太阳能模块——这比传统的薄膜模块大四倍。