光刻机

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摘要 EvG620NT和EVG6200NT光刻机分别可以处理从小于5mm到150mm和从3英寸到200mm衬底，拥有一系列最先进的功能和特点，包括一个花岗岩基座、主动式隔振装置和线性马达，以达到更高的精度和生产量要求。拥有了这些建立在EVG最灵活全面的对准平台上的新系统，生产商只需进行简单的一对一转换，将手动型号转换成全自动机台，就能很容易地实现从研发到量产之间的过渡。

出处《集成电路应用》 2009年第6期45-45,共1页 Application of IC

关键词光刻机线性马达隔振装置花岗岩主动式生产量生产商全自动

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TS959.12 [轻工技术与工程]

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