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多晶硅生产中副产物SiCl_4的综合利用 被引量:11

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摘要 在氯化氢(HCl)合成制备三氯氢硅(SiHCl3)过程中,除主要产品SiHCl3外,还有大约15%左右的四氧化硅(SiCl4)副产品,另外还有二氯氢硅(SiH2Cl2)等。在SiHCl3氢还原中,还伴随有SiHCl3的热分解而生成的SiCl4、SiH2Cl2和HCl等,
出处 《新材料产业》 2009年第7期51-56,共6页 Advanced Materials Industry
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共引文献7

同被引文献94

引证文献11

二级引证文献43

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