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俄罗斯IC工业及其制造设备
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摘要
本文介绍了俄罗斯IC工业概况以及一条08μm、150mm(6英寸)圆片生产线的主要制造设备和分析仪器。
作者
翁寿松
机构地区
中国华晶电子集团公司无锡市无线电元件四厂
出处
《电子工业专用设备》
1998年第2期16-17,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
俄罗斯
IC
制造设备
电子工业
分类号
F451.126.6 [经济管理—产业经济]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子工业专用设备
1998年 第2期
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