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金属有机硅薄膜(MOSTF)

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摘要 建议用途: 这种方法可以用来制造金属光阻抗蚀或可刻印膜。膜的脊柱结构含有硅、碳和各类金属。这些光阻抗蚀膜有不同的工业应用,例如制造薄膜磁头,内存储存设备,生物检测鉴定,波的导航,光学与平板技术等等。
出处 《有机硅氟资讯》 2009年第6期49-49,共1页 Silicone and Fluorine Information
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