8in晶圆显微镜检测系统在京诞生

日前，8in晶圆显微镜检测系统经6个月的研发，在北京自动化技术研究院大兴工业基地诞生。这是继大气型硅片专用机械手和Waferloader后的又一款新型机械手。这项技术完全由自动化院自主研发、自行生产。整个系统由传输装置、宏观检查装置和显微放大装置组成，内部系统则由第三代控制软件来实现。