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日开发LED的蓝宝石底板高成品率芯片技术

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摘要日本迪思科（Disco）开发出了用于LED的蓝宝石底板芯片加工技术。该技术的特点是，在切割蓝宝石底板时可同时兼顾LED的质量及成品率。该公司称其为“蓝宝石底板的Stealth Dicing Process”。

出处《现代材料动态》 2009年第7期20-20,共1页 Information of Advanced Materials

关键词芯片技术蓝宝石 LED 成品率底板开发 STEALTH 加工技术

分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学] P619.281 [天文地球—矿床学]

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现代材料动态

2009年第7期

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