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手机将成MEMS主要应用市场

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摘要 MEMS在手机中的应用,在未来5年内既是复杂的挑战,又是巨大的机遇。Si话筒和FBAR/BAW(薄膜体声谐波/体声波)滤波器自2003年问世后获得惊人的发展,并正走向成熟。MEMS加速器正处于急速发展阶段,陀螺仪、微显示、自动聚焦和微变焦产品才刚起步,未来有待开发的还有压力传感器、微镜、RF开关/变容器和微燃料电池等。
出处 《集成电路通讯》 2009年第1期51-51,共1页
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