新型不锈钢隔离膜压力传感器被引量：2

下载PDF

导出

摘要世界领先的硅微机械加工压力、加速度传感器制造商———美国ＥＧ＆ＧＩＣＳｅｎｓｏｒｓ日前宣布了一款新系列压力传感器，设计用于腐蚀性介质的压力测量。采用新型芯片和制造工艺，使得该系列压力传感器性能指标充分提高而且成本更低。关键特性●改善的线性：±０．１％...

作者梁天波

机构地区 EG&G中国代表处

出处《中国仪器仪表》 1998年第4期19-19,共1页 China Instrumentation

关键词压力传感器传感器不锈钢隔离膜

同被引文献6

1丁恩杰,孟祥,李晓,戴吉.基于无线传感器网络的井下液压支架压力监测系统设计[J].煤矿机械,2010,31(10):139-141. 被引量：18
2车辚辚,孔英会,赵建立,程文清.基于物联网的智慧实验室设计[J].实验技术与管理,2013,30(10):212-215. 被引量：47
3朱俊光,高健,田俊,赵敏,戚海峰,谢亚卓,庄建军.基于物联网技术的远程温湿度监测系统[J].实验技术与管理,2014,31(11):94-97. 被引量：30
4李东玲,尚正国,佘引,王胜强.MEMS加工技术综合性实验[J].实验技术与管理,2017,34(7):95-98. 被引量：1
5石杰.矿用无线压力传感器的设计[J].科技创新与应用,2018,8(31):94-95. 被引量：2
6郭玉刚,饶浩,陶茂军,田雷,吴佐飞.MEMS SOI高温压力传感器芯片[J].传感器与微系统,2018,37(11):92-95. 被引量：15

中国仪器仪表

1998年第4期

内容加载中请稍等...