ICP-AES法测定工业硅中杂质含量

研究了利用ICP-AES法测定工业硅中杂质元素Fe、Al、Ca的方法,建立了最佳工作条件,检出限小于0.003%,回收率在95-101%之间,RSD小于1%。方法简便快速,有好的精密度和准确度。