扫描电镜测量微纳米球形样品平均粒径的测量不确定度
摘要
以标称粒径为600纳米的亚微米球为例，分析了利用扫描电子显微镜测量微纳米球形样品平均粒径的测量不确定度主要来源，并在对各不确定度分量进行分别评估的基础上，给出了扩展测量不确定度。
出处
《计量技术》
2009年第7期71-73,共3页
Measurement Technique
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