MEMS微电子机械系统与流程工业自动化

1引言在20世纪80年代，随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。这期间德国卡尔斯鲁厄原子核物理研究中心发明了LIGA技术（LIGA，Lithographie Galvanofomung Abfomung），并制作出微加速度器、微型涡轮、微电机等多种微机械和微光学元件和系统。日本也研制出在硅衬底上制造几十微米大小的微连接铰链、弹簧、齿轮等构件。